在2000年的第一個月,Santa Clara University的Sergey Savastiou教授在Solid State Technology期刊上發表了一篇名叫《Moore’s Law – the Z dimension》的文章。這篇文章最后一章的標題是Through-Silicon Vias,這是Through-Silicon Via這個名詞首次在世界上亮相。這篇文章發表的時間點似乎也預示著在新的千禧年里,TSV注定將迎來它不凡的表演。TSV示意圖TSV,是英文Through-Silicon Via的縮寫,即是穿過硅基板的垂直電互連。如果說Wire bonding(引線鍵合)和Flip-Chip(倒裝焊)的Bumping(凸點)提供了芯片對外部的電互連,RDL(再布線