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(1)發(fā)明了一種可光刻玻璃介電損耗控制方法。建立中和堿效應(yīng)、壓制效應(yīng)和穩(wěn)定效應(yīng)與介電損耗的協(xié)同關(guān)系,實現(xiàn)了可光刻玻璃介電損耗有效減小。 (2)發(fā)明了超快激光精準(zhǔn)誘導(dǎo)玻璃相變,實現(xiàn)超細(xì)孔徑的玻璃通孔形成技術(shù)。玻璃最小孔徑9μm,通孔密度最大250000 cm-2。 (3)突破傳統(tǒng)通孔填充深徑比限制,實現(xiàn)最大深徑比達(dá)50:1的超高深徑比玻璃通孔實心金屬化,解決了信號連續(xù)性問題,攻克了TGV工程化難題。 |