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行業背景

一、三維集成是后摩爾時代集成電路發展的必然趨勢

隨著集成電路特征尺寸持續減小逐漸逼近物理極限,學術界和產業界對后摩爾時代半導體行業發展提出了三條路徑,即延續摩爾(More Moore:持續縮微)、擴充摩爾(More Than Moore:多功能集成)和超越摩爾(Beyond Moore:三維集成)。其中超越摩爾是通過系統思維來構造微系統,著眼系統的小型化和整體性能的提升。

超越摩爾的微系統集成不再刻意追求特征線寬的持續減小,而是通過三維堆疊來大幅提升集成電路性能和空間使用效率,用系統集成優勢去平衡和縮小制造代差,這是我國集成電路發展的重大機遇。

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二、玻璃通孔技術TGV是射頻微系統三維集成的最佳方案

玻璃材料幾乎沒有自由移動的電荷,介電性能優良、介電常數低,玻璃通孔技術(TGV)可以有效避免TSV的高頻損耗問題;同時,TGV技術還可以省去銅填充前的前阻擋層和氧化覆膜層制作;此外,顯著減小鍍銅層與基板之間的過孔電容,降低過孔有源和無源電路之間的電磁干擾。這樣不僅大幅提高射頻微系統的性能(相對TSV)、減小體積(相對TCV),而且可大幅降低工藝復雜度和加工成本。因此,對射頻微系統而言,TGV作為通用、基礎的系統級封裝技術,是理想的射頻微系統三維集成解決方案。

三、玻璃通孔技術TGV可廣泛用于通信、物聯網、軍事電子、消費電子等

利用TGV優異的微波性能和3D微結構加工能力,玻璃通孔技術可廣泛用于通信、物聯網、軍事電子等領域,支撐高性能IPD集成無源器件、壓力傳感器封裝、Mini/Micro LED、微流控芯片、電子煙霧化芯、原子鐘氣室等新一代產品開發。


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