|
|
一、三維集成是后摩爾時代集成電路發展的必然趨勢 隨著集成電路特征尺寸持續減小逐漸逼近物理極限，學術界和產業界對后摩爾時代半導體行業發展提出了三條路徑，即延續摩爾（More Moore：持續縮微）、擴充摩爾（More Than Moore：多功能集成）和超越摩爾（Beyond Moore：三維集成）。其中超越摩爾是通過系統思維來構造微系統，著眼系統的小型化和整體性能的提升。 超越摩爾的微系統集成不再刻意追求特征線寬的持續減小，而是通過三維堆疊來大幅提升集成電路性能和空間使用效率，用系統集成優勢去平衡和縮小制造代差，這是我國集成電路發展的重大機遇。 二、玻璃通孔技術TGV是射頻微系統三維集成的最佳方案 玻璃材料幾乎沒有自由移動的電荷，介電性能優良、介電常數低，玻璃通孔技術(TGV)可以有效避免TSV的高頻損耗問題；同時，TGV技術還可以省去銅填充前的前阻擋層和氧化覆膜層制作；此外，顯著減小鍍銅層與基板之間的過孔電容，降低過孔有源和無源電路之間的電磁干擾。這樣不僅大幅提高射頻微系統的性能(相對TSV)、減小體積(相對TCV)，而且可大幅降低工藝復雜度和加工成本。因此，對射頻微系統而言，TGV作為通用、基礎的系統級封裝技術，是理想的射頻微系統三維集成解決方案。 三、玻璃通孔技術TGV可廣泛用于通信、物聯網、軍事電子、消費電子等 利用TGV優異的微波性能和3D微結構加工能力，玻璃通孔技術可廣泛用于通信、物聯網、軍事電子等領域，支撐高性能IPD集成無源器件、壓力傳感器封裝、Mini/Micro LED、微流控芯片、電子煙霧化芯、原子鐘氣室等新一代產品開發。 |
